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產(chǎn)品中心
XMZ130系列
XMZ130系列模組是一款Z軸模組,搭載XRL130直線(xiàn)運動(dòng)模塊和磁彈簧重力平衡模塊,共同實(shí)現Z向運動(dòng)。磁平衡無(wú)需額外供氣,且結構緊湊,響應快,模組精度高,運行穩定。
下載附件:
技術(shù)參數
  • 產(chǎn)品介紹
  • 規格參數
  • 尺寸圖
  • 訂購信息

設計特點(diǎn):

A. 高精度

B. 防蠕動(dòng)交叉滾子導軌

C. 磁彈簧平衡負載重力

D. 無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機

E. 動(dòng)磁鐵設計


電機參數單位XMZ130-35XMZ130-60
電機型號-AUM2-S3AUM2-S3
持續推力N26.426.4
峰值推力N132.0132.0
力常數 ±10%N/Arms16.516.5
反電勢常數 ±10%Vpeak/(m/s)13.513.5
機械參數單位XMZ130-35XMZ130-60
精度等級-NN
行程mm3560
分辨率μm0.10.1
重復定位精度μm±0.3±0.3
水平直線(xiàn)度μm±2.0±2.0
垂直直線(xiàn)度μm±2.5±2.5
額定負載①kg4.33.32.34.13.12.1
空載運動(dòng)質(zhì)量kg1.71.9
空載總質(zhì)量kg5.26.0
最大容許側傾力矩Nm3.04.0
最大容許俯仰力矩Nm3.54.5
最大容許橫擺力矩Nm4.05.0

注:

①受磁力彈簧實(shí)際出力影響,額定負載最大偏差±12%。 

所有測量數據基于模組安裝在5μm大理石臺面上。

   所有測量數據基于雅科貝思測量標準。


XMZ130-35

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XMZ130-60

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