緊湊型設計; 直驅技術(shù); 無(wú)齒槽扭矩; 高精度光學(xué)編碼器 ;可疊加使用
XY中空設計,厚度低 XY行程100*100mm XY十字疊加結構,內置直線(xiàn)電機及高精度交叉滾柱導軌 XY集成高精度光柵尺,重復定位精度±0.5um,絕對定位精度2um 典型應用領(lǐng)域:精密零件組裝/檢測、光學(xué)對準、全自動(dòng)顯微鏡
AMS55
產(chǎn)品用途:適用于光學(xué)聚焦,高速取放,力控制應用
XYZ有效行程300*300*150mm ; XY軸龍門(mén)雙驅結構,底部?jì)蓚€(gè)直線(xiàn)電機同步控制 ; XYZ集成高精度光柵尺,重復定位精度±1um
高精密直線(xiàn)電機運動(dòng)平臺