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產(chǎn)品中心
XRZ系列
XRZ系列為氣缸配重水平Z軸,模組安裝面水平設計,音圈電機推動(dòng)整個(gè)臺面在Z向升降。通過(guò)氣缸平衡負載重力,減少所需的電機出力。搭配高精度光學(xué)編碼器,提高模組的精度參數。
下載附件:
技術(shù)參數
  • 產(chǎn)品介紹
  • 規格參數
  • 尺寸圖
  • 訂購信息

設計特點(diǎn):

A. 高精度、低摩擦

B. 防蠕動(dòng)交叉滾子導軌

C. 音圈電機

D. 氣平衡設計

E. 高精度光學(xué)編碼器

      

電機參數單位XRZ120-15XRZ170-25XRZ190-30
電機型號-AVM30-HF-15AVM60-25AVM75-38-C39
持續推力N17.9626.3545.26
峰值推力N98.8119.0192.02
力常數 ±10%N/A24.717.013.72
反電勢常數 ±10%Vpeak/(m/s)24.717.013.72
機械參數單位XRZ120-15XRZ170-25XRZ190-30
行程mm152530
分辨率μmSINCOS(4096X)SINCOS(4096X)SINCOS(4096X)
重復定位精度μm±0.2±0.2±0.2
水平直線(xiàn)度μm±0.5±0.75±0.75
垂直直線(xiàn)度μm±0.75±1.0±1.0
俯仰角arcsec10.010.010.0
橫擺角
arcsec10.010.010.0
額定負載kg5.015.020.0
空載運動(dòng)質(zhì)量kg1.33.64.8
空載總質(zhì)量kg3.39.812.6
材料-黑色陽(yáng)極氧化鋁黑色陽(yáng)極氧化鋁黑色陽(yáng)極氧化鋁
最大容許側傾力矩Nm1.58.08.0
最大容許俯仰力矩Nm1.57.57.5
最大容許橫擺力矩Nm1.57.57.5

注:

★所有測量數據基于模組安裝在5μm大理石臺面上。

   所有測量數據基于雅科貝思測量標準。



XRL120-15

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XRL170-25

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XRL190-30

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