項目需求
真空機器人是一種在真空環(huán)境下工作的機器人，主要應用于半導體工業(yè)中，實(shí)現晶圓在真空腔室內的傳輸。真空機械手難進(jìn)口、受限制、用量大、通用性強，其成為制約了半導體裝備整機的研發(fā)進(jìn)度和整機產(chǎn)品競爭力的關(guān)鍵部件。
解決方案
●Akribis為客戶(hù)提供直驅無(wú)刷無(wú)框電機，能夠滿(mǎn)足真空環(huán)境下使用，由轉子和定子組成高扭矩密度，用于機器人關(guān)節位置更加靈活、確切的運動(dòng)，具有更好的控制精度。
●采用優(yōu)化的磁路設計，實(shí)現更低的齒槽力，運行更加平穩。
●Akribis提供完整的型號可供選擇，Akribis可以按照客戶(hù)需求定制，憑借專(zhuān)業(yè)的直驅電機研發(fā)技術(shù)團隊，可以為客戶(hù)定制化開(kāi)發(fā)解決方案。
主要參數
請咨詢(xún)cust-service@akribis-sys.cn
