半導體的“不可能三角”
在瞬息萬(wàn)變的半導體行業(yè),生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量是企業(yè)競爭力的核心。長(cháng)期以來(lái),半導體檢測領(lǐng)域面臨著(zhù)一個(gè)“不可能三角”:高精度、高速度和高穩定性難以兼得,高精度往往以犧牲速度為代價(jià),而追求產(chǎn)率又可能影響定位穩定性。傳統運動(dòng)平臺往往在這些要素之間做出妥協(xié),導致設備綜合效率低下,成本居高不下。
產(chǎn)品|飛馬座運動(dòng)平臺
雅科貝思飛馬座運動(dòng)平臺PGS-XYT系列,以系統層面的正向設計,從材料、結構、熱管理和運動(dòng)控制等多個(gè)維度出發(fā),徹底打破半導體行業(yè)困局。它不僅實(shí)現了毫秒級整定、亞微米級精度,更將靜態(tài)抖動(dòng)控制在納米級別,為半導體制造帶來(lái)了革命性的突破。
飛馬座運動(dòng)平臺
核心特點(diǎn):三位一體,重塑生產(chǎn)力
突破性產(chǎn)率:毫秒級響應,賦能高效制造
飛馬座運動(dòng)平臺采用先進(jìn)的直驅技術(shù),結合輕量化高剛度結構設計、主動(dòng)減震系統以及智能運動(dòng)控制算法,將平臺整定時(shí)間縮短至10ms以?xún)?。這意味著(zhù)更快的運動(dòng)速度、更短的生產(chǎn)周期,從而大幅提升平臺產(chǎn)率,助力企業(yè)在激烈的市場(chǎng)競爭中贏(yíng)得先機。
PGS-XY模組
納米級抖動(dòng):精益求精,鑄就卓越品質(zhì)
在精密制造領(lǐng)域,納米級抖動(dòng)是衡量平臺性能的關(guān)鍵指標。飛馬座運動(dòng)平臺搭載高信噪比控制系統,實(shí)現了3nm靜態(tài)抖動(dòng)的卓越表現。這為半導體檢測、量測等對精度要求極高的應用場(chǎng)景提供了堅實(shí)保障。
卓越潔凈性能:高標準環(huán)境,延長(cháng)設備壽命
飛馬座運動(dòng)平臺充分發(fā)揮直驅技術(shù)在潔凈度和壽命上的先天優(yōu)勢,并采用低發(fā)塵設計、內置抽排系統和氣路污染隔絕等創(chuàng )新技術(shù),實(shí)現了ISO2級別的超高潔凈度。這不僅能夠有效降低污染離子的傳播,更顯著(zhù)延長(cháng)設備的使用壽命,為企業(yè)創(chuàng )造更大價(jià)值。
圖片來(lái)源于網(wǎng)絡(luò )
技術(shù)優(yōu)勢:突破行業(yè)瓶頸
震動(dòng)管理:主動(dòng)隔震,穩如磐石
飛馬座運動(dòng)平臺采用先進(jìn)的直驅技術(shù),結合輕量化高剛度結構設計、主動(dòng)減震系統以及智能運動(dòng)控制算法,將平臺整定時(shí)間縮短至10ms以?xún)?,可滿(mǎn)足最大加速度2.5g的工況。這意味著(zhù)更快的運動(dòng)速度、更短的生產(chǎn)周期,從而大幅提升平臺產(chǎn)率,助力企業(yè)在激烈的市場(chǎng)競爭中贏(yíng)得先機。
輕量化高剛度設計:精益求精,追求極致
利用先進(jìn)材料和拓撲優(yōu)化等手段,飛馬座運動(dòng)平臺實(shí)現了輕量化高剛度結構設計。三片式一體化設計不僅能夠壓縮空間尺寸,更能提高結構剛度,從根源上減少抖動(dòng)和串擾,確保產(chǎn)率和精度的雙重提升。
圖片來(lái)源于網(wǎng)絡(luò )
應用場(chǎng)景
飛馬座運動(dòng)平臺憑借其卓越的性能,廣泛適用于半導體制造過(guò)程中的關(guān)鍵環(huán)節,包括:
半導體檢測與量測:
在晶圓檢測、缺陷分析、膜厚測量等高精度量測應用中,飛馬座平臺能夠提供穩定的運動(dòng)控制和納米級抖動(dòng)抑制,保障測量結果的準確性和可靠性。
套刻誤差檢測與校正:
在多層芯片制造過(guò)程中,套刻精度是影響芯片性能的關(guān)鍵因素。飛馬座平臺能夠輔助套刻誤差的檢測與校正,提高芯片的良率。
未來(lái)與展望
雅科貝思深耕運動(dòng)控制領(lǐng)域多年,始終關(guān)注半導體行業(yè)的發(fā)展趨勢。未來(lái),雅科貝思將通過(guò)持續的技術(shù)創(chuàng )新、深化行業(yè)合作和拓展全球市場(chǎng),致力于成為半導體行業(yè)領(lǐng)先的運動(dòng)控制解決方案供應商,為推動(dòng)半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻力量。