氣浮轉臺的原理及特點(diǎn)
氣浮轉臺是一種集成了直驅電機、編碼器、采用氣浮軸承來(lái)實(shí)現旋轉運動(dòng)的產(chǎn)品。它通過(guò)向軸承腔體輸入壓縮空氣，由節流高壓空氣產(chǎn)生的氣膜將工件支撐起來(lái)，氣膜具有一定剛性及負載能力，從而支撐轉臺臺面懸浮及旋轉運動(dòng)，同時(shí)保障軸系的軸向、徑向跳動(dòng)精度。相比于傳統的機械轉臺，它具有更高的穩定性和更精確的定位精度。
以下是某種氣浮軸承的原理示意圖。通過(guò)外部氣源供給壓力，氣體經(jīng)過(guò)節流器進(jìn)入軸承間隙，然后連續地從軸承外緣排入大氣。
雅科貝思氣浮轉臺
雅科貝思已推出標準品AAR200-A氣浮轉臺，臺面直徑為200mm，總高度90mm。其“矮胖”的身材可以有效降低系統的高度，并且盡可能減少堆疊誤差，中孔設計方便線(xiàn)纜或真空管道通過(guò)。
經(jīng)過(guò)測試該轉臺具有低速度波動(dòng)，優(yōu)秀的軸系回轉精度以及非常好的的定位精度。
| AAR200-A | |
絕對定位精度 （補償后） (arc sec) | 樣機實(shí)測：±0.53 指標：±2 |
重復定位精度 (arc sec) | 樣機實(shí)測：±0.402 指標：<±0.5 |
軸向回轉精度 (nm) | 樣機實(shí)測：41.6 指標：<100 |
徑向回轉精度 (nm) | 樣機實(shí)測：97.3 指標：<100 |
速度波動(dòng) | 樣機實(shí)測0.064%@300rpm |
靜態(tài)抖動(dòng) (arc sec) | 樣機實(shí)測: 0.369 |
雅科貝思氣浮轉臺的優(yōu)點(diǎn)與應用場(chǎng)景
01 采用氣體靜壓氣浮技術(shù)，和動(dòng)壓技術(shù)比，它承載力和剛度更大，穩定性更易控制。
02 氣浮軸承的氣體粘度低、摩阻低、振動(dòng)噪音小。
03 氣浮軸承無(wú)需潤滑油，實(shí)現了免維護，并且 清潔無(wú)污染、壽命久。
04 氣浮轉臺通常采用無(wú)鐵芯直驅旋轉電機，因此無(wú)齒槽效應，能實(shí)現高定位精度、運行阻尼小、高速度穩定性等特點(diǎn)。
05 軸系的軸向和徑向回轉精度可達到納米級別，同時(shí)具有非常優(yōu)秀的絕對定位精度和重復定位精度。
應用場(chǎng)景:
光 學(xué) ：光學(xué)檢測、光通信、光學(xué)對準、激光精密加工
測 量 ：三坐標檢測儀、測角儀、柱狀體三維形貌檢測、偏心儀、圓度儀
裝 配 ：精密同心裝配、裝夾
半導體：晶圓檢測、晶圓對準、研磨機/減薄機
其 他： 科研院校
針對不同應用領(lǐng)域和客戶(hù)需求，我們還將陸續推出其他標準型號，同時(shí)也可接受客戶(hù)定制需求。
高精密氣浮轉臺以其高穩定性、高精度、低維護等優(yōu)點(diǎn)，正成為精密測量和精密加工領(lǐng)域的重要選擇。雅科貝思氣浮轉臺更是憑借其卓越的性能和應用廣泛的標準品以及靈活的定制服務(wù)，贏(yíng)得了客戶(hù)的廣泛認可。
歡迎了解更多產(chǎn)品詳情，可聯(lián)系我們的專(zhuān)業(yè)團隊（cust-service@akribis-sys.cn）。
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