產(chǎn)品特性:
XY十字疊加結構,內置直線(xiàn)電機,步進(jìn)/掃描
Z軸采用高精度音圈電機,用于光學(xué)調焦,重復定位精度±0.2um
XY集成高精度光柵尺,重復定位精度±0.5um
典型應用領(lǐng)域:6/8寸/12寸晶圓檢測
*如需詳細參數,請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師(郵箱:cust-service@akribis-sys.cn)