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產(chǎn)品特性：

XYZ均采用直線(xiàn)電機及高精度交叉滾柱導軌

XYZ內置高精度絕對值光柵尺，1nm光柵分辨率，重復定位精度≤±100nm，絕對定位精度（位置誤差補償后）≤±350nm；

配套專(zhuān)用高精度控制器，實(shí)現靜態(tài)抖動(dòng)（jitter）值≤±25nm，讓耦合更穩定；

高速尋光，每軸速度≥350mm/s,加速度≥1g，讓找光、尋光更快，效率更高；

典型應用領(lǐng)域：有源/無(wú)源 光模塊三維耦合設備，精密零件光學(xué)檢測。

*如需詳細參數，請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）