SEMICON
跨界全球·心芯相聯(lián)
2025年3月26日，備受矚目的SEMICON上海半導體展會(huì )在上海新國際博覽中心盛大舉行。作為全球領(lǐng)先的精密運動(dòng)控制解決方案供應商，雅科貝思攜其尖端超高精度產(chǎn)品亮相展會(huì )，吸引了眾多行業(yè)專(zhuān)家和客戶(hù)的目光。
展位號：N2135 展 品 一 覽
真空陶瓷模組
氧化鋁陶瓷｜低熱膨脹｜高精度
采用無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機，實(shí)現極低的速動(dòng)波動(dòng)，確保運動(dòng)的平穩性。該平臺重復定位精度高達±0.3μm，滿(mǎn)足納米級精度需求。專(zhuān)為真空環(huán)境設計，其低釋氣特性，可適應10e-5Pa的嚴苛真空條件，有效保障半導體制造過(guò)程中的潔凈度和穩定性。廣泛應用于晶圓膜厚線(xiàn)寬量測、Micro LED檢測等高精度應用領(lǐng)域。
主動(dòng)隔振平臺
快速整定｜低靜態(tài)抖動(dòng)｜堆疊平臺
該平臺提供地面-晶圓一體化集成解決方案，有效消除外部振動(dòng)干擾，確保測量和生產(chǎn)過(guò)程的精度與穩定性。其高剛性結構和快速整定特性，尤其適用于晶圓生產(chǎn)控制應用、關(guān)鍵尺寸檢查以及套刻誤差檢測等高精度需求領(lǐng)域
超高精陶瓷氣浮平臺
全氣?。邉傂裕{米級靜態(tài)抖動(dòng)
平臺內置無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機，實(shí)現精準快速的運動(dòng)控制，確保卓越的動(dòng)態(tài)性能和快速整定。緊湊的機械設計，在極小的空間內實(shí)現了四自由度（Z,Rx,Ry,Rz）運動(dòng)，為客戶(hù)節省寶貴的空間。平臺卓越的定位精度（重復定位精度0.25μm）和極佳的平面度與直線(xiàn)度（±1μm）成為半導體檢測領(lǐng)域的理想選擇，廣泛應用于電子束晶圓缺陷檢測、關(guān)鍵尺寸檢測、AOI檢測等高精度應用。
現場(chǎng)直擊
展會(huì )現場(chǎng)，雅科貝思的展位人頭攢動(dòng)，參觀(guān)者絡(luò )繹不絕。多款新尖端直驅產(chǎn)品，精準定位半導體制造與檢測核心需求，吸引眾多業(yè)內人士駐足詳詢(xún)。
雅科貝思團隊以專(zhuān)業(yè)素養和熱情服務(wù)，深入剖析產(chǎn)品技術(shù)優(yōu)勢，并提供定制化解決方案?？蛻?hù)對產(chǎn)品的卓越性能及團隊的專(zhuān)業(yè)度給予高度評價(jià)，現場(chǎng)互動(dòng)交流熱烈。
未來(lái)展望
半導體技術(shù)的每一次突破，都將為人類(lèi)社會(huì )帶來(lái)巨大的變革。雅科貝思將緊跟時(shí)代步伐，以創(chuàng )新為驅動(dòng)，持續加大在半導體領(lǐng)域的投入，重點(diǎn)布局高精度運動(dòng)控制解決方案，致力于為客戶(hù)提供更卓越的產(chǎn)品和更完善的服務(wù)。
雅科貝思期待與您攜手，共創(chuàng )美好未來(lái)！
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