音圈電機
在半導體制造、高速拾取和放置以及生物醫學(xué)等具有挑戰性的應用中， 短距離、精準定位、精確力控制、快速響應至關(guān)重要。盡管傳統的滾珠絲杠和絲杠型軸承是常見(jiàn)的選擇，而音圈電機往往被忽視，但實(shí)際上它們以具有競爭力的成本提供了高精度和可重復的小位移，尤其在特殊環(huán)境下表現優(yōu)異。本文將以雅科貝思的產(chǎn)品為例，探討音圈電機的優(yōu)勢。
音圈電機的優(yōu)勢是什么？
音圈電機的設計簡(jiǎn)單緊湊，由磁性外殼和線(xiàn)圈組成，采用單極設計，無(wú)需換相。這種設計使得它的電壓極性和電流控制變得非常容易。此外，音圈電機具有低遲滯、低電感和質(zhì)心移動(dòng)質(zhì)量，這使得它們能夠實(shí)現高速度和高加速度。
音圈電機可以應用在哪些行業(yè)？
半導體制造：音圈電機非常適合短距離移動(dòng)。在光刻過(guò)程中，它們能夠實(shí)現快速而精確的運動(dòng)，控制振動(dòng)以及調整光學(xué)元件的焦距。此外，音圈電機的高速度特別適合于板和線(xiàn)的粘合及拾取設備。一些雅科貝思的音圈電機甚至可以實(shí)現高達200g的加速度。相比于滾珠絲杠，許多音圈電機能夠在真空和潔凈環(huán)境中穩定運行，避免氣體泄漏和污染。
生物醫學(xué)設備：對于生物醫學(xué)設備設計師而言，音圈電機提供了比傳統伺服電機更高的精度，且成本更低。緊湊設計滿(mǎn)足體積日益縮小的設備需求，同時(shí)低遲滯特性使得它們在分配輕質(zhì)材料方面表現出色。結合編碼器使用時(shí)，音圈電機能夠實(shí)現亞微米級的高精度力和位置控制。
自動(dòng)化生產(chǎn)：音圈電機在半導體制造中的高速性能同樣使其適用于自動(dòng)化應用，如拾取和放置、進(jìn)料以及需要精確鏡頭自動(dòng)對焦的檢測任務(wù)。
激光微加工：激光振鏡的Z軸可以利用音圈電機來(lái)精確調節激光束在Z方向的位置，從而實(shí)現高效的激光加工和成型。通過(guò)音圈電機，系統可以快速地調整激光焦點(diǎn)的位置，以適應不同材料的厚度和表面特性，應對各種復雜的加工任務(wù)，例如切割、雕刻和打標等。
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在雅科貝思，高性能音圈電機涵蓋多種尺寸和力密度。這些設備利用永磁直接驅動(dòng)電機技術(shù)，提供了高功率質(zhì)量比、高加速度和快速響應，幾乎沒(méi)有滯后和齒槽效應。此外，由于線(xiàn)圈與磁鋼不接觸，音圈電機的磨損幾乎可以忽略不計，降低長(cháng)期使用中的維護成本?？蛻?hù)可以選擇我們的AVM系列標準圓柱形音圈電機或AVA系列緊湊設計的方形音圈電機，這兩款產(chǎn)品擁有極具競爭力的性?xún)r(jià)比，能夠幫助客戶(hù)在提高性能的同時(shí)控制預算。
對于需要高連續峰值力的應用，雅科貝思可提供配備無(wú)刷AVM音圈電機的平臺模組。這些模組能夠在緊湊的單元中提供卓越的剛度、快速加速和快速沉降，并實(shí)現高精度、高響應、高剛性和高穩定性。
雅科貝思也可以根據客戶(hù)的需求定制音圈電機，甚至可以集成高精度的力反饋傳感器。音圈模組也可以配備交叉滾子軸承（CRB），確保亞微米級的分辨率。
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