高精Z軸定位平臺
工業(yè)、醫療、生命科學(xué)和半導體行業(yè)正面臨提高生產(chǎn)效率和投資回報率的嚴峻挑戰。為了實(shí)現預期的生產(chǎn)目標,自動(dòng)化設備必須具備更高的速度和精度,這要求其運動(dòng)部件在定位和性能方面不能妥協(xié)。
在此背景下,垂直或Z軸定位平臺成為關(guān)鍵組件,因其在機器人技術(shù)和智能制造設備中的應用日益廣泛。本文將探討高精度Z軸定位平臺在各行業(yè)自動(dòng)化設備中的主要優(yōu)勢。
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Z軸定位平臺是一種電動(dòng)裝置,能夠在不偏離線(xiàn)性路徑的情況下,沿垂直方向精確移動(dòng)負載,特別適用于取放、檢驗、點(diǎn)膠、設備檢測、3D打印以及其他材料處理或一般工業(yè)應用,發(fā)揮著(zhù)至關(guān)重要的作用。
為確保高性能設備的最佳效果,選擇具備以下特性的Z軸定位平臺至關(guān)重要:
直驅技術(shù)
直驅電機因其高推力和低發(fā)熱特性而備受青睞。高推力常數確保精準和可重復的定位能力,支持快速加速和減速,并減少齒槽效應。
有效重力補償
Z軸直驅模塊需配備有效的重力補償方案。在該模塊中,磁彈簧的應用比機械彈簧或氣缸更具優(yōu)勢。它通過(guò)動(dòng)定子內永磁體之間的相互作用產(chǎn)生力,無(wú)需外部電源或控制。該裝置在其行程范圍內,能夠保持恒定的方向和穩定的大小,確保有效的負載平衡。
緊湊型設計
在高精度半導體設備及其他亞微米級定位要求的應用中,精確的垂直定位至關(guān)重要。Z軸直驅模塊具有緊湊尺寸,適應有限的內部空間,同時(shí)滿(mǎn)足高精度的定位需求。
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在機械加工和制造過(guò)程中,Z 軸代表工具或工件定位的垂直方向。正確的 Z 軸對準至關(guān)重要,因為它直接影響制造零件的尺寸精度、表面光潔度和整體質(zhì)量。
不準確的Z 軸定位可能會(huì )導致特征錯位、材料去除過(guò)多或不足,進(jìn)而對零件的完整性產(chǎn)生負面影響。
為了應對Z軸定位在實(shí)際應用中的挑戰,雅科貝思專(zhuān)門(mén)研發(fā)了兩款高精度Z軸定位模組,可廣泛應用于亞微米級定位、光學(xué)對位、各行業(yè)自動(dòng)化設備點(diǎn)到點(diǎn)高速定位等應用,特別是以下幾個(gè)典型領(lǐng)域:
半導體計量與晶圓制造
執行掃描操作的成像系統
微孔板的高通量處理
需要細胞選擇和高精度放置的細胞治療,以支持再生醫學(xué)技術(shù)
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對于這些需要高精度定位的應用,如半導體制造或醫療儀器,雅科貝思的Z軸定位模組在研發(fā)之初就將低傳動(dòng)誤差和高定位精度作為首要目標。此外,針對不同應用的工作環(huán)境和使用條件,雅科貝思在材料選擇上也十分重視,確保模組具備耐磨損、耐腐蝕特性以及易于維護。
AFC90
雅科貝思AFC90系列模組是一款由直線(xiàn)電機、雙導軌、編碼器位置反饋以及結構底座組成的緊湊型直線(xiàn)模組,行程可達500mm,具有靈活的安裝方式,可搭配雅科貝思其他模組疊加成XY平臺。
AFC90SMZ
雅科貝思AFC90SMZ系列模組是AFC90系列的衍生Z軸產(chǎn)品,搭載AFC90直線(xiàn)模組,使用磁力彈簧平衡重力,是緊湊型高性能運動(dòng)臺,重復定位精度可達±0.5μm。
AFC90SMZ也可以與AFC90線(xiàn)性模組組合,形成X-Y或X-Y-Z模組。