當前,有鐵芯直線(xiàn)電機已經(jīng)在半導體、光伏鋰電、液晶面板等行業(yè)得到廣泛應用,因其小體積、大推力、高響應的特點(diǎn),能夠同時(shí)實(shí)現高速高精度的要求,特別適用于點(diǎn)到點(diǎn)的微米級快速定位。
然而,隨著(zhù)行業(yè)發(fā)展和客戶(hù)需求的升級,壓縮電機體積或提高電機出力體積比的需求日益增長(cháng)。此外,有鐵芯電機線(xiàn)圈與磁軌之間的吸力問(wèn)題也成為了一個(gè)需要解決的難題。
解決方案
為了解決這些問(wèn)題,雅科貝思推出了雙邊有鐵芯直線(xiàn)電機AKD-A系列,它采用中間線(xiàn)圈+雙邊磁軌的形式,短線(xiàn)圈作為運動(dòng)部件,長(cháng)磁軌為定子部分。這樣的結構布置,可以讓線(xiàn)圈均勻受到兩邊磁軌的吸引,無(wú)不平衡單邊拉力,有助于結構的穩定性和壽命。
AKD-A系列電機持續推力范圍550-1187N,峰值力范圍2156-5174N。相較于傳統單邊有鐵芯電機,AKD-A在電氣時(shí)間常數方面進(jìn)行了極致優(yōu)化,達到4.4ms的水平,這大大縮短了整個(gè)系統的響應時(shí)間。
AKD050-A-B3(353×100×90mm)的持續推力值是816N、峰值推力值是3234N,與其他體積接近的有鐵芯直線(xiàn)電機相比,AKD-A系列具有明顯優(yōu)勢。
高速龍門(mén)平臺應用案例
目前,雅科貝思的高速龍門(mén)平臺采用該類(lèi)型電機,在15kg負載下,平臺加速度可達30m/s2,速度可達3m/s,適用于半導體貼片設備。
晶圓刺晶機應用案例
刺晶轉移是一種通過(guò)刺穿晶圓并將芯片轉移到另一個(gè)基板上的技術(shù)。能夠使得Mini LED芯片的尺寸更小,從而提高M(jìn)ini LED的分辨率和亮度。
在這個(gè)應用中,客戶(hù)對電機寬度、長(cháng)度有嚴格要求,在此條件下,還需電機能提供不小于750N的持續推力和不小于2000N的峰值推力,并能夠實(shí)現快速響應。
AKD-A系列方案可以完全滿(mǎn)足以上要求,并在晶圓刺晶機中得到成功應用。
綜上所述,雙邊有鐵芯直線(xiàn)電機AKD-A系列具有優(yōu)異的性能和靈活的應用性,能夠滿(mǎn)足各種行業(yè)和設備的需求。
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