設計特點(diǎn)：
A.高剛性、無(wú)摩擦靜壓氣浮導向實(shí)現絕對順滑的勻速掃描運動(dòng)
B.超精等級幾何精度(直線(xiàn)度、平面度、角度精度)滿(mǎn)足高端定位系統需求
C.導軌、電機、編碼器實(shí)現全面無(wú)接觸、無(wú)磨損
D.內置線(xiàn)纜管理以及模組化XY堆疊設計簡(jiǎn)化系統集成工作
E.適用于半導體晶圓檢測、激光微加工、鉆石單晶車(chē)床等應用
| 電機參數 | 單位 | 無(wú)屏蔽排線(xiàn)版 AAL270-X-XX-XX-X-A-X | 帶屏蔽排線(xiàn)版 AAL270-X-XX-XX-X-B-X | |||
| 電機型號 | - | AUM3-P-S3 | AUM3-P-S3 | |||
| 持續推力(自冷) @100oC ① | N | 85 | 85 | |||
| 峰值推力 | N | 433 | 433 | |||
| 力常數 ±10% | N/Arm | 23.6 | 23.6 | |||
| 反電勢常數 ±10% | Vpeak/(m/s) | 19.2 | 19.2 | |||
| 相間電阻 @25oC ±10% ② | Ω | 3.3 | 3.3 | |||
| 相間電感 ±40% ③ | mH | 2.62 | 2.62 | |||
| 持續電流(自冷) @100oC ① | Arms | 3.6 | 3.6 | |||
| 峰值電流 | Arms | 18.4 | 18.4 | |||
| 最高母線(xiàn)電壓 ④ | Vdc | 100 | 330 | |||
| 電磁周期 | mm | 60 | 60 | |||
| 機械參數 ⑤ | 單位 | 100 mm | 200 mm | 300 mm | 400 mm | 500 mm |
| 分辨率 | μm | SINCOS | SINCOS | SINCOS | SINCOS | SINCOS |
| 定位精度 (補償后) | μm | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
| 雙向重復定位精度 (ISO230-2) | μm | ±0.075 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
| 平面度 | μm | ±0.4 | ±0.5 | ±0.75 | ±1.5 | ±2.0 |
| 直線(xiàn)度 | μm | ±0.4 | ±0.5 | ±0.75 | ±1.5 | ±2.0 |
| 側傾 | arcsec | ±1 | ±2 | ±3 | ±4 | ±5 |
| 俯仰 | arcsec | ±1 | ±2 | ±3 | ±4 | ±5 |
| 橫擺 | arcsec | ±1 | ±2 | ±3 | ±4 | ±5 |
| 額定負載 | kg | 40 | ||||
| 最大空載加速度 | m/s2 | 20 | ||||
| 最大空載速度 | m/s | 1.0 | ||||
| 空載運動(dòng)質(zhì)量 (無(wú)屏蔽排線(xiàn)版) AAL270-X-XX-XX-X-A-X | kg | 7.3 | ||||
| 空載運動(dòng)質(zhì)量 (帶屏蔽排線(xiàn)版) AAL270-X-XX-XX-X-B-X | kg | 7.7 | ||||
| 空載總質(zhì)量,單軸 (無(wú)屏蔽排線(xiàn)版) AAL270-X-XX-XX-X-A-X | kg | 22.7 | 26.0 | 29.3 | 32.5 | 35.8 |
| 空載總質(zhì)量,單軸 (帶屏蔽排線(xiàn)版) AAL270-X-XX-XX-X-B-X | kg | 23.8 | 27.2 | 30.6 | 33.9 | 37.3 |
| 工作環(huán)境溫度 | ℃ | 10~40 | ||||
注：
1 測量室溫25oC，取決于散熱環(huán)境。 相關(guān)參數規格如有變動(dòng)，恕不另行通知。
2 電阻測量采用直流電流，含0.5米標準線(xiàn)纜。
3 電感測量頻率1kHz，AUM系列電感浮動(dòng)范圍較大為±40%是因為三相電感不同，樣冊標定數值為最大值與最小值的平均值，對于每一相電感，浮動(dòng)范圍為±20%。 4 無(wú)屏蔽排線(xiàn)版的最高母線(xiàn)電壓是100V。
5 機械規格指的是單軸模組。對于XY堆疊平臺，請聯(lián)系雅科貝思 (cust-service@akribis-sys.cn)。
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