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產(chǎn)品中心
TGS-XY 系列
TGS-XY下軸使用三根導軌達到更好的性能,支持更長(cháng)長(cháng)行程的上軸。使用定制的帶氣管緊湊排線(xiàn),是半導體行業(yè)的理想選擇。
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設計特點(diǎn):

A. 三軌堆疊XY平臺 

B. 下軸使用三根導軌,支持更長(cháng)長(cháng)行程的上軸

C. 使用定制的帶氣管緊湊排線(xiàn)


電機參數單位LU
電機型號-AUM5-S3AUM4-S3
持續推力(自冷) @100oC①N295166
峰值推力N2122936
力常數 ±10%N/Arms117.972.0
反電勢常數 ±10%Vpeak/(m/s)96.358.8
相間電阻 @25oC ±10%②Ω12.4013.97
相間電感 ±30%③mH19.5011.50
持續電流(自冷) @100oC①Arms2.52.3
峰值電流Arms18.013.0
最高母線(xiàn)電壓Vdc330330
電磁周期mm8460
機械參數單位LU
有效行程mm500500
分辨率μm0.5/0.1/SINCOS0.5/0.1/SINCOS
重復定位精度μm±2/±1±2/±1
直線(xiàn)度μm±10±10
平面度μm±10±10
額定負載kgNA20
空載運動(dòng)質(zhì)量kg407
空載總質(zhì)量kg370370
最大靜態(tài)力矩NmNA10


注:

①測量時(shí)環(huán)境溫度為25oC,取決于散熱環(huán)境。

電阻測量采用直流電流,含0.5米標準線(xiàn)纜。

電感測量頻率1kHz,AUM系列電感浮動(dòng)范圍較大為±40%是因為三相電感不同,樣冊標定數值為最大值與最小值的平均值,對于每一相電感,浮動(dòng)范圍為±20%。

●此參數表是此種類(lèi)型平臺典型值。

●請聯(lián)系我們獲取更多選項。

特殊環(huán)境要求,可定制,請聯(lián)系cust-service@akribis-sys.cn。

相關(guān)參數規格如有變動(dòng),恕不另行通知。


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