91丨国产亚洲丨精品白丝,80歳熟女のお婆ち在线观看,黑人性做爰免费观看,死对头被C上瘾(H)男男,57pao国产精品一区

晶圓缺陷檢測
隨著(zhù)圖形化和幾何結構線(xiàn)寬的縮小,晶圓加工過(guò)程需要通過(guò)高分辨率相機捕獲小的物理缺陷和高縱橫比缺陷。
  • 項目需求
    隨著(zhù)圖形化和幾何結構線(xiàn)寬的縮小,晶圓加工過(guò)程需要通過(guò)高分辨率相機捕獲小的物理缺陷和高縱橫比缺陷。這就要求晶圓缺陷檢測設備具備精確且可重復的運動(dòng)控制系統,通過(guò)高精度、高速度運動(dòng)平臺配合相機同步掃描高速獲取硅片圖像,同時(shí)對運動(dòng)的整定時(shí)間也提出了較高的要求。

  • 解決方案

    雅科貝思提供高性能XYZ堆疊高精度運動(dòng)平臺,及高性能控制系統的整套打包解決方案。

    XY軸采用Akribis專(zhuān)利設計AUM系列的無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機,無(wú)齒槽效應,保障了低速運動(dòng)時(shí)較高的穩定性;Z軸采用特殊設計,用于光學(xué)調焦,實(shí)現運動(dòng)線(xiàn)圈低質(zhì)量和高加速度。

    在控制方面,其優(yōu)化的控制算法可以在很大程度上地將龍門(mén)平臺的性能發(fā)揮到極致,實(shí)現納米級定位和高速運動(dòng)。



  • 主要參數

    請咨詢(xún)cust-service@akribis-sys.cn


91丨国产亚洲丨精品白丝,80歳熟女のお婆ち在线观看,黑人性做爰免费观看,死对头被C上瘾(H)男男,57pao国产精品一区